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    铂悦仪器(上海)有限公司

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    探针式轮廓仪Dektak XTL

    更新时间:2021-02-04

    产品品牌:Bruker

    产品型号:Dektak XTL

    产品描述:新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品足球下注app官网下载,将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业足球下注app官网下载。

    探针式轮廓仪是一种用于化学、材料科学足球下注app官网下载足球下注app官网下载、电子与通信技术足球下注app官网下载足球下注app官网下载、化学工程领域的分析仪器。分析样品表面大尺寸三维形貌足球下注app官网下载,探测样品厚度足球下注app官网下载足球下注app官网下载。

    布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品足球下注app官网下载足球下注app官网下载足球下注app官网下载,将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业足球下注app官网下载足球下注app官网下载足球下注app官网下载。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行足球下注app官网下载,是当今要求苛刻的生产环境的理想之选足球下注app官网下载。它的双摄像头设置使空间感增强足球下注app官网下载,其高水平自动化可生产量足球下注app官网下载足球下注app官网下载。

    探针式轮廓仪系统Dektak XTL产品特性

    一足球下注app官网下载、Bruker公司的双摄像头控制系统

    1.通过点击实时视频更快锁定到关注点
    2.通过选择实时视频中的两个点快速定位样品(自动旋转使连线水平)
    3.通过在实时视频中点击扫描起始和结束位置简化测量设置(教学)

    二足球下注app官网下载、自动化设置和操作

    1.借助300毫米的自动化编码XY工作台以及360度旋转能力,编程控制无限制测量位置足球下注app官网下载。
    2.利用带图形识别功能的Vision64位产品软件减少使用中的定位偏差
    3.将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中,并存储到数据库内

    三足球下注app官网下载足球下注app官网下载、方便的分析和数据采集

    1.快速分析仪支持大部分常用分析方法足球下注app官网下载足球下注app官网下载,可轻松实现分析程序自动化
    2.通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征
    3.通过赋予每个测量点名称并自动记录到数据库来简化数据分析
    4.Dektak在大样品制造业中的传奇性能

    四足球下注app官网下载足球下注app官网下载、业界自动分析软件

    新增软件功能使Dektak XTL成为市面上易使用的探针式轮廓仪足球下注app官网下载。系统使用的Vision64软件,与Bruker公司的光学轮廓仪完全兼容足球下注app官网下载足球下注app官网下载。Vision64软件可以进行样品任何位置测量足球下注app官网下载、3D绘图以及借助数百个内置分析工具实现的高度定制表征方法足球下注app官网下载。也可以使用Vision Microform软件来测量曲率半径等形状足球下注app官网下载足球下注app官网下载。

    五足球下注app官网下载、探针式检测技术

    图形识别功能可以尽量减少操作员误差并测量位置精度足球下注app官网下载足球下注app官网下载足球下注app官网下载。在同一软件包内,以直观流程进行数据采集和2D足球下注app官网下载足球下注app官网下载、3D分析。每个系统都带有Vision软件许可证,可在装有Windows7操作系统的个人电脑上安装足球下注app官网下载,用户可在电脑桌面上创建数据分析和报告足球下注app官网下载足球下注app官网下载。

    Dektak XTL拥有超过40年的探针经验和软件定制生产经验足球下注app官网下载,符合现在和未来的严格的行业发展蓝图。

             

    应用

    一、晶片应用:                                                          二足球下注app官网下载、大型基板应用:          

    沉积薄膜(金属足球下注app官网下载足球下注app官网下载、有机物)的台阶高度                           印刷电路板(凸起足球下注app官网下载、台阶高度)
    抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度                                     窗口涂层
    蚀刻速率测定                                                                 晶片掩模
    化学机械抛光(腐蚀足球下注app官网下载,凹陷足球下注app官网下载足球下注app官网下载足球下注app官网下载,弯曲)                              晶片卡盘涂料
                                                                                          抛光板
    三足球下注app官网下载、玻璃基板及显示器应用:                                        四足球下注app官网下载足球下注app官网下载、柔性电子器件薄膜:
    AMOLED                                                                       有机光电探测器
    液晶屏研发的台阶步级高度测量                                     印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
    触控面板薄膜厚度测量                                                   触摸屏铜迹线
    太阳能涂层薄膜测量

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